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根據(jù)工作原理真空泵的分類及類別用途

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求,因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機(jī)組進(jìn)行抽氣的情況較多。為了方便起見,將這些泵按其工作原理或其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)進(jìn)行一些具體的詳細(xì)的分類是必要的,F(xiàn)分述如下:

一、氣體傳輸泵

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達(dá)到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類型:

1、變?nèi)菡婵毡?/SPAN>

變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種:

往復(fù)真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)運(yùn)動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。

旋轉(zhuǎn)真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動,將氣體吸入,壓縮并排出。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種型式:

油封式真空泵:它是利用油類密封各運(yùn)動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為如下五種型式。

a)旋片式真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。

b)滑閥式真空泵:在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導(dǎo)軌中滑動,而把泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。

c)定片式真空泵:在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子,泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。

d)余擺線式真空泵:在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子,它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。

e)多室旋片式真空泵:在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機(jī)驅(qū)動的多個獨(dú)立工作室的旋片真空泵。

干式真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡谩?SPAN lang=EN-US>

液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?SPAN lang=EN-US>

羅茨真空泵:泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變真空泵。機(jī)械增壓泵即為這種型式的真空泵。

2、動量傳輸泵

這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹。具體可分為下述幾種類型。

分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:

牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。

渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合式分子真空泵。

(2)噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種:

液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。

氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。

蒸氣噴射真空泵:以蒸氣(水、油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。

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